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반도체 박막증착 공정중 MBE와 ALD의 차이점

끼봉
  • 작성일
    2024-05-31
  • 조회수
    217
박막증착 공정중 PVD에 속하는 MBE(Molecular Beam Epitaxy)와 ALD(Atomic Layer Deposition)의 차이점을 알려주세요 

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