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반도체가스 BCL3 / WF6 Powder 발생이유

솔솔
  • 작성일
    2024-06-20
  • 조회수
    1,454
반도체회사에서 사용하는 TCP9600설비,P-5000 BCL3 / Novellus 설비 WF6 가스에서 Powder 발생합니다. 설명 및 화학식으로 자세히 좀 설명 부탁드립니다. ㅠ ㅠ

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